グリッド偏光素子、紫外線偏光光照射方法、紫外線偏光光照射装置、光配向層付き基板の製造方法及び光配向装置

【課題】 非反射型のグリッド偏光素子であって、製造が容易で、紫外線を対象波長とするような酸化が生じ易い条件で使用される場合にも所望の偏光性能が安定して得られるようにする。 【解決手段】 透明基板１上に設けられた縞状のグリッド２は、窒化チタン又は及び酸窒化チタンで形成された主たる層を有し且つ単体金属の層を含まない多数の線状部２１で形成され、ｓ偏光光を選択的に吸収し、ｐ偏光光を透過することで光を偏光させる。各線状部２１は、紫外線を偏光させることができる間隔ｔで離間している。水銀ランプ５１からの紫外線はグリッド偏光素子５３で偏光され、紫外線偏光光がワーク１０に照射されることで、ワーク１０が光配向される。 【選択図】 図１