ULSI／GLSI低Na CMP浆料的纯化效率

摘要：采用离子交换法去除ULSI／GLSICMP浆料SiO2水溶胶中的Na^＋。介绍了微电子专用CMPSiO2水溶胶纯化的研究现状。实验分析了SiO2水溶胶中Na^＋与阳离子树脂的交换机理，硅溶胶中Na^＋去除分为硅溶胶溶液中Na^＋的去除和被硅溶胶胶团吸附Na^＋的去除。在交换动态平衡时，动态交换1h较静态交换24h生产效率提高了20多倍。同时阳1-阳1、阳2-阳1、阳3-阳1、阳1-阴1-阳1等离子交换工艺均能得到很好的纯化效果CNa^＋〈5×10^-6，不仅循环利用了树脂，而且酸碱耗量减少了50％以上。同时纯化硅溶胶配成碱性抛光液在硅片CMP应用中取得良好的结果。