Entwicklung ionenstrahlgestützter Hochdurchsatz-Analysemethoden für die kombinatorische Materialforschung

In der vorliegenden Arbeit wurde untersucht inwiefern Ionenstrahlmethoden als HT-Messmethoden in der kombinatorischen Materialforschung einsetzbar sind. Es wurde ein geeigneter Messaufbau entwickelt mit dem HT-RBS und HT-Wasserstoffmessungen mittels der N-15 NRA durchgefuhrt werden konnen. Weiterhin wurde an Mg-Ti als Testsystem gezeigt, dass HT-N-15 NRA tiefenaufgeloste Absolutmessungen der H-Konzentration erlaubt, die mit anderen HT-Methoden nicht zuganglich sind. Daneben wurde auserdem die E-D-R Methode entwickelt. Bei dieser handelt es sich um ein systematisiertes Verfahren, dass EDX, DIGE und RBS kombiniert. Diese Methode ist fur beliebige Materialzusammensetzungen einsetzbar. Die Moglichkeiten der E-D-R Methode wurden in der Arbeit am Li-Ni-Mn-Co-O System demonstriert.