Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
Кинетика реактивно-ионного травления Si, SiO 2 и Si 3 N 4 в плазме C 4 F 8 + O 2 + Ar: эффект соотношения C 4 F 8 /O 2
Кинетика реактивно-ионного травления Si, SiO 2 и Si 3 N 4 в плазме C 4 F 8 + O 2 + Ar: эффект соотношения C 4 F 8 /O 2
2021
А. М. Ефремов
K.H. Kwon
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]