Neues kennzahlbasiertes Regelungskonzept für das kontrollierte Plasmanitrieren und -nitrocarburieren: Verbesserte Prozesskontrolle durch Messung des Ammoniakgehalts

Kurzfassung Das Plasmanitrieren und -nitrocarburieren ist ein seit Langem in der industriellen Produktion etabliertes Verfahren. Dieses plasmaunterstutzte thermochemische Randschichtverfahren wird auf verschiedenste Stahl-Bauteile angewandt, um den Verschleiswiderstand, die Korrosionsbestandigkeit sowie die Schwingfestigkeit zu steigern. Nach dem Stand der Technik wird der Prozess heute im Bereich der anomalen Glimmentladung als gepulstes Plasma in einem elektrisch beheizten Warmwandofen durchgefuhrt. Durch die Einstellung der Begasungszusammensetzung sowie der Plasmaparameter ist es moglich, verschieden dicke Verbindungsschichten mit unterschiedlicher Phasenzusammensetzung, Harte und Morphologie einzustellen. Die hierfur notwendigen konstanten Gas- und Plasmaparameter werden in der Regel vorab experimentell ermittelt. Das Einstellen der optimalen Parameter, um die angestrebte Randschichtspezifikation reproduzierbar und prozesssicher zu erreichen, erfordert eine Menge Expertenwissen und Experimente. Weite...