トラブル原因究明支援装置，トラブル原因究明支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体

【課題】基板処理装置のトラブルに関連するログを自動的に検索して強調表示させることを可能とし，トラブル原因の究明作業の効率を高める。 【解決手段】複数の種類別ログファイルを格納する種類別ログファイル記憶部３２２と，予め基板処理装置のトラブルに関連するログに含まれる文字列がキーワードとして記憶されたキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部３２３とを設け，入力部３１１からの入力情報に基づいて特定されたキーワードファイルからログ検索に使用するキーワードを設定するとともに，ログ解析に使用する種類別ログファイルを設定し，設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成し，表示部３１２に解析用ログファイルのログを表示する共に，設定されたキーワードを含むログを解析用ログファイルから検索して強調表示させる。 【選択図】 図３