Capteur optique intégré à effet Vernier en polymères

Un biocapteur optique integre a effet Vernier a base de materiaux polymeres SU8/PMATRIFE ultrasensible est realise en utilisant un procede photolithographique standard. Le capteur est base sur un interferometre Mach-Zehnder avec un micro-resonateur integre sur chacun des deux bras. Les performances du transducteur sont ensuite caracterisees et la limite de detection est estimee par la methode de Monte-Carlo et les incertitudes liees au systeme de mesure. Une sensibilite du capteur de 17558 nm/RIU a ete mesuree et la limite de detection a ete estimee a 4,6.10-7 RIU.