デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法

【課題】デザイナ・インテント・データを使用してウェハとレチクルを検査する方法を提供する。 【解決手段】設計重要性が欠陥がレチクルの設計にどのように影響するかの尺度であるとして、レチクル上で検出された欠陥のその設計重要性を判定することと、 リソグラフィ的重要性が欠陥がレチクルを使用するリソグラフィ・プロセスによってパターン形成されるウェハにどのように影響するかの尺度であるとして、欠陥のそのリソグラフィ的重要性を判定することと、 設計重要性とリソグラフィ的重要性に基づいて欠陥の総合重要性を判定することと を含む、コンピュータで実施される 【選択図】 図１