Systeme de projection optique, systeme d'exposition et procede

L'invention concerne un systeme de projection optique possedant une bonne performance optique sans etre sensiblement affecte par une birefringence meme lorsqu'on utilise un materiau optique a birefringence intrinseque tel que la fluorine. Ledit systeme de projection (400) optique utilise pour former une reduction d'image d'un premier plan (R) sur un second plan (W) comprend un element d'emission lumineuse d'un premier groupe forme de facon a fournir une concordance approximative entre un axe de cristal (100) et un axe optique, et un element d'emission lumineuse d'un second groupe forme de facon a fournir une concordance approximative entre un axe de cristal (100) et un axe optique. Les elements d'emission lumineuse des premier et second groupes sont positionnellement associes de sorte que lorsque l'un d'eux tourne de 45° autour de l'axe optique par rapport a l'autre, ils sont tous deux disposes sur un chemin optique entre une position de la pupille (20) sur le cote du second plan et ledit second plan.