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Acemap > Paper > V,V/VおよびV/V-N薄膜の拡散障壁特性を,CU相互接続において研究した。【JST・京大機械翻訳】

V,V/VおよびV/V-N薄膜の拡散障壁特性を,CU相互接続において研究した。【JST・京大機械翻訳】

2016 
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