Bobine d'inductance multicouche formee dans un substrat a semi-conducteur et presentant un noyau de materiau ferromagnetique

La presente invention a trait a une bobine d'inductance multicouche a couches minces de qualite elevee comprenant un noyau ferromagnetique et recouvrant au moins trois couches metalliques constituee par la formation d'une pluralite de premieres pistes metalliques paralleles sur un substrat a semi-conducteur. Une pluralite de premiers et deuxiemes trous d'interconnexion conducteurs verticaux sont formes dans la connexion electrique a chaque extremite de la pluralite de pistes metalliques. Une pluralite de troisiemes et quatriemes trous d'interconnexion verticaux sont formes sur la pluralite de premiers et deuxiemes trous d'interconnexion conducteurs verticaux et une pluralite de deuxiemes pistes metalliques sont formees realisant une interconnexion avec la pluralite de troisiemes et quatriemes trous d'interconnexion. Les premieres pistes metalliques et les deuxiemes pistes metalliques sont orientees de sorte qu'une extremite d'une premiere piste metallique soit reliee a une extremite sus-jacente d'une deuxieme piste metallique par l'intermediaire des premiers et troisiemes trous d'interconnexion verticaux. L'autre extremite de la deuxieme piste metallique est reliee a l'unique piste metallique suivante par l'intermediaire des deuxiemes et quatriemes trous d'interconnexion verticaux conducteurs, formant une structure a conductivite continue presentant une forme generalement helicoidale. Un noyau d'inductance est constitue par la formation prealable d'une couche de silicium entre chacune de la pluralite de pistes metalliques. Une couche de germanium est formee sur celle-ci et la structure est recuite, entrainant la formation de points quantiques de germanium. Une couche de cobalt est ensuite formee sur les points quantiques et un autre processus de recuit entraine le cobalt dans les points quantiques, ou il est piege pour former un noyau ferromagnetique.