Sınır Elemanları Yöntemiyle MEMS Plakası Dışında Oluşan Manyetostatik Potansiyel Analizi

MEMS ve NEMS cihazlarinin, gittikce kuculen yapilariyla beraber kararli ve verimli calisabilmesi icin tasarimlari onem kazanmaktadir. Sinir elemanlari yontemi bu tur cihazlarin tasarimi icin son zamanlarda yaygin olarak kullanilan bir yontemdir. Bu calismada, klasik yontemler olarak ifade edilen sonlu farklar yontemi ve sonlu elemanlar yontemine gore daha yeni bir metot olan sinir elemanlari metodu arastirilmistir. Sinir elemanlari yonteminin MEMS tasarimindaki performansini incelemek icin MEMS plakasi disinda olusan skaler manyetik potansiyel analiz edilmistir. Ilk olarak problem bolgesi sinirlari, sabit sinir elemani ile bolumlenmis ve Dirichlet sinir sartlari tanimlanarak problem modellenmistir. Problemi cozmek icin Matlab ortaminda yeni bir program gelistirilmistir. Tasarlanan program, limitleri ve eleman sayilari belirlenen iki boyutlu problem bolgesinde, otomatik olarak sonlu elemanlar yontemi ve sinir elamanlari yontemi icin cozum yapmaktadir. Sonuclarin dogruluk derecesini kontrol etmek icin problem analitik olarak cozulerek tum sonuclar karsilastirilmistir. Uygulamada elde edilen sonuclara gore sinir elemanlari yonteminin sonlu elemanlar yontemine gore problem cozmek icin gerekli veriler, uygulama kolayligi ve sonuclarin dogrulugu acisindan bircok pozitif yone sahip oldugu ifade edilebilir. Bu calismada elde edilen sonuclara gore MEMS ve NEMS cihazlarin elektrostatik ve manyetostatik algilama mesafeleri tespitinde sinir elamanlari metodunun kullanilmasi onerilebilir. Gelistirilen yeni program, bu tur cihazlarin daha iyi bir tasarima sahip olmalarina katki sunabilir.