Le microscope à force atomique métrologique

Cet article decrit le contexte du developpement et la mise en œuvre d’un microscope a force atomique metrologique. C’est un instrument de reference, tracable au systeme international d’unites et dedie a la pratique de la nanometrologie dimensionnelle. Sa conception specifique permet de maitriser l’incertitude de mesure. Il est principalement utilise pour l’etalonnage des etalons couramment employes dans le domaine de la microscopie en champ proche ou de la microscopie electronique.