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Automatische Dickenbestimmung dünner Schichten im NIR-Spektralbereich
Automatische Dickenbestimmung dünner Schichten im NIR-Spektralbereich
1988
Reiner Salzer
H. Hoyer
J. Dressler
M. Eckler
R. Bindemann
Keywords:
Materials science
Optics
measurement method
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