Réacteur de production de silicium polycristallin, système de production de silicium polycristallin, et procédé de production de silicium polycristallin

La presente invention a pour objet une technique pour l'obtention de silicium polycristallin de haute purete et pour la recuperation de la chaleur produite par la production du silicium polycristallin, la chaleur etant recuperee dans un etat hautement valorisable. On utilise un reacteur (10) qui possede une paroi interne (11) ayant une structure a deux couches, qui est composee d'une couche resistante a la corrosion (11a) disposee sur le cote interne qui entre en contact avec un gaz de traitement corrosif, la couche resistante a la corrosion (11a) etant constituee d'un materiau d'alliage hautement resistant a la corrosion, et d'une couche de transfert de chaleur (11b) disposee sur le cote externe (cote de la paroi externe), la couche de transfert de chaleur (11b) etant destinee a transferer efficacement la chaleur a l'interieur du reacteur (10) de la surface de la paroi interne a un canal pour agent de refroidissement (13). Le canal pour agent de refroidissement possede une resistance a la pression qui permet a de l'eau chaude ayant une temperature pas inferieure au point d'ebullition normal d'y circuler. La couche resistante a la corrosion (11a) comprend un materiau d'alliage ayant une composition dans laquelle la valeur de R definie par R = [Cr] + [Ni] - 1,5 [Si], [Cr], [Ni], et [Si] etant les teneurs en % en masse de chrome (Cr), de nickel (Ni), et de silicium (Si), respectivement, est de 40 % ou plus. Une reaction pour le depot de silicium polycristallin est conduite pendant la regulation de la temperature de la surface interieure de la paroi interne du reacteur a 370 °C ou moins.