Procédé et appareil de commande de distribution d'énergie d'ions

L'invention porte sur des systemes, des procedes et un appareil de regulation d'energie d'ions dans une chambre de plasma. Un systeme a titre d'exemple comprend une partie de commande d'energie d'ions, et la partie de commande d'energie d'ions fournit au moins un signal de commande d'energie d'ions en reponse a au moins un reglage d'energie d'ions qui indique la distribution voulue d'energie d'ions bombardant une surface d'un substrat. Un dispositif de commande est couple a l'alimentation commutee, et le dispositif de commande fournit au moins deux signaux de commande d'attaque. De plus, une alimentation commutee est couplee au support de substrat, a la partie de commande d'energie d'ions et au dispositif de commande. L'alimentation commutee comprend des composants de commutation configures pour appliquer une puissance au substrat en reponse aux signaux d'attaque et au signal de commande d'energie d'ions de facon a effectuer la distribution voulue des energies d'ions bombardant la surface du substrat.