加圧装置とこれを用いたバンプボンディング装置、貼り付け装置、及び圧着装置と、加圧方法

(57)【要約】 【課題】 プレートの平行状態を、作業者のノウハウに 頼らず、自動調整機構により、精度の高い平行調整を可 能とする加圧装置とこれを用いたバンプボンディング装 置、貼り付け装置、及び圧着装置と、加圧方法を提供す る。 【解決手段】 球面の一部で形成された軸受け面を有す る吸着部２５と、第一の加圧手段３２に接続され、軸受 け面上を摺動可能に形成された可動部２４とを有し、軸 受け面を形成している球面の中心Ｃが第１の加圧手段３ ２の加圧面上にある。このことにより、平行調整の際 に、第一の加圧手段３２の加圧面上の中心Ｃの位置が移 動することなく、第１の加圧手段３２の加圧面が第２の 加圧手段３３の加圧面に倣うことになり、加圧面同士の 面ずれによる摩擦が生じないので、高精度な平行調整を 行うことができる。