洗浄液、洗浄方法、洗浄液製造装置

【課題】高濃度の気体を長期に亘って液体中に安定に保持することができ、洗浄性能の高い洗浄液を提供する。 【解決手段】洗浄液は、気体がナノサイズの気泡となって該気体の飽和溶解液に存在しているものである。そして、水素結合を形成する分子からなる液体を含有し、該液体の気泡との界面に存在する分子の水素結合の距離が、該液体が常温常圧であるときの水素結合の距離よりも短い。圧力変化、温度変化、衝撃波、超音波、赤外線、振動を制御して洗浄液中の気泡を崩壊させて洗浄する。気体供給部２と、気液混合部３と、気体分離部４と、減圧部５とを備えた洗浄液製造装置により洗浄液を製造する。 【選択図】図１