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Φ200MMの単結晶シリコンの成長過程における温度場と結晶品質に及ぼす加熱器/るつぼの相対位置の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
Φ200MMの単結晶シリコンの成長過程における温度場と結晶品質に及ぼす加熱器/るつぼの相対位置の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
2016
Gao Mangmang
Zhu Bo
Li Jin
Jing Huayu
Dong Fayun
Liang Sen
Li Haibo
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