TFT-LCD改善Particle Gap的研究

Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷。以55 UHD产品为例，Particle Gap发生率约为1.0%，对产品良率影响较大，为提升液晶屏品质和客户满意度，急需改善此不良。文章结合不良现象研究Particle Gap的主要异物模式，最终通过改善CF研磨失败异物、沙粒状异物和透明状异物这种模式达到整体Particle Gap降低的效果。首先利用流程图分析影响异物模式的关键步骤，然后通过鱼骨图、决策矩阵、假设检验验证找出影响异物模式的显著因素，最后通过合力促进法总结出显著因素的最佳改善方案，导入量产并文件标准化，可平行推广至55UHD以外的其它尺寸。改善结果表明：通过以上3种异物类型的改善，55UHD Particle Gap发生率降低至少30%，为公司带来了巨大且显著的硬性节省。