MgO/Pd底层对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性及热稳定性的影响

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备以MgO/Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品，研究MgO底层厚度t对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性（perpendicular magnetic anisotropy，PMA）的影响，分析具有MgO/Pd底层的多层膜的热稳定性。通过对样品的反常霍尔效应的测试分析发现，底层中引入MgO层能够提高其PMA性能，当t为3.5 nm时，样品的矩形度最好。对最佳样品MgO（3.5 nm）/Pd（3 nm）/[CoSiB（0.5 nm）/Pd（0.8 nm）]2/Ta（2 nm）的磁滞回线进行测试，其有效磁各向异性常数Keff达到2.0×105 J/m3。热稳定性分析发现，当退火温度为200℃时，样品的Keff达到最大值2.6×105 J/m3；当退火温度达到400℃时，样品仍能保持良好的PMA性能。