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イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成
イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成
1998
fusi hara yuuiti
miyake masasi
Keywords:
Thin film
Beta carbon nitride
Plasma processing
Carbon nitride
Superhard material
Composite material
Ceramic materials
Nitride
Materials science
ion beam processing
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