Improvements in the performance of turbomolecular pumps

A new range of turbomolecular pumps, nEXT, has been developed. This incorporates a new damping mechanism and pumping stage options. A new Siegbahn drag stage in combination with a regenerative mechanism are described in their combination with pure turbomolecular stages. Consequent increased backing pressures, high compression ratios and the facilitation of a boost port being used to create additional pumping capacity in the viscous flow regime will be described. Der Artikel beschreibt eine neue Generation von Turbopumpen (nEXT). Ein patentierter, kompakter Metallfeder-Dampfer erlaubt dem unteren keramisch Kugellager sich radial zu bewegen und eine Unwucht des Rotors auszugleichen. Dadurch muss die Pumpe nach einem Lagerwechsel nicht ausgewuchtet werden, wodurch der Service leicht vom Anwender durchfuhrbar ist. Eine neuartige Kombination von Siegbahn- und Seitenkanal-Verdichtern als Erganzung der Molekularpumpstufe erlaubt Vorvakuumdrucke bis zu 20 mbar. Dies erweitert den Einsatzbereich von Turbomolekularpumpen merklich in den viskosen Stromungsbereich hinein, was die Systemauslegung vereinfacht und Energieersparnis in vielen Anwendungen erbringt, z. B. an Massenspektrometern.