The organic vertical transistor and manufacturing method thereof

2005 
有機縦形トランジスタにおいて、集積化を容易にするとともに、オン電流の上昇、及びオフ電流の低減を可能としつつ短チャネル化を図ることができる有機縦形トランジスタ及びその製造方法を提供する。 基板上に垂直方向に積層されるソース電極と、このソース電極上に垂直方向に積層されるソース・ドレイン電極間絶縁膜と、このソース・ドレイン電極間絶縁膜上に垂直方向に積層されるドレイン電極と、前記基板上の水平方向であって、前記ソース電極と、前記ソース・ドレイン電極間絶縁膜と、前記ドレイン電極のそれぞれの両側に接触するように積層される有機半導体活性層と、この有機半導体活性層に接触するように積層されるゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜に接触するように積層されるゲート電極と、を有し、前記ゲート電極、前記ゲート絶縁膜、前記有機半導体活性層各々を加工する。
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []