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(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル・プラチナとO 2 プラスマを用いたAl 2 O 3 基板上のPt原子層堆積の核生成と成長
(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル・プラチナとO 2 プラスマを用いたAl 2 O 3 基板上のPt原子層堆積の核生成と成長
2011
L Baker
Andrew S. Cavanagh
Dragos Seghete
Steven M. George
Adriaan J. M. Mackus
Wilhelmus M. M. Kessels
Z. Y. Liu
F. T. Wagner
Keywords:
Materials science
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