Repair of anomalous solid pillar bumps

Der hierin offenbarte Gegenstand betrifft im allgemeinen ein Reparieren anomal fester Saulenhocker, die uber einem Metallisierungssystem eines Halbleiterchips oder Wafers erfasst werden konnen. Ein hierin offenbartes anschauliches Verfahren umfasst unter anderem ein Bilden eines Saulenhockers uber einem Metallisierungssystem eines Halbleiterchips und ein Bilden einer Mehrzahl von Aussparungen in dem Saulenhocker, wobei die Mehrzahl von Aussparungen ausgelegt ist, um eine Flexibilitat des Saulenhockers anzupassen, wenn der Saulenhocker einer lateralen Kraft ausgesetzt wird.