Experimental Characterization of Antimony Dopant in Silicon Substrate

Experimental Characterization of Antimony Dopant in Silicon Substrate H. Serrar, R. Labbania,∗ and C. Benazzouz Laboratoire de Physique Mathematique et Subatomique, Departement de Physique, Faculte des Sciences Exactes, Universite Mentouri de Constantine, Route de Ain El Bey, 25000 Constantine, Algeria Centre de Developpement des Techniques Nucleaires, 2 Bd Frantz Fanon, BP 399, Alger Gare, Algeria