Appareil et procede de synthese de films et de revetements au moyen d'un depot par faisceau de particules focalise

L'invention concerne un appareil de depot par faisceau de particules comprenant une source de particules servant a produire une pluralite de particules en suspension, une chambre d'expansion et une chambre de depot reliee a la chambre d'expansion par un etage de focalisation aerodynamique, ledit appareil faisant intervenir un substrat. L'etage de focalisation aerodynamique peut etre constitue par une pluralite d'elements de focalisation aerodynamiques, tels que des lentilles. On peut deposer des particules, et notamment des nanoparticules, sur le substrat en produisant un nuage aerosol de particules, en accelerant ces particules dans la chambre d'expansion, en creant un faisceau aligne avec ces particules, lesquelles sont amenees a traverser les lentilles de focalisation aerodynamiques ainsi qu'une chambre de depot, puis en projetant ces particules contre le substrat.