Temperature behaviour on deposition of the titanium nitride thin films on the H13 steel by the electric arc discharge in vacuum

Abstract Objective: In this present research work the behaviour of temperature of the substrate manufactured in AISI H13 steel, in the range of and , during of surface deposition of titanium nitride (TiN) thin films by the technique of cathodic arc in vacuum. Results: The physical properties of the TiN films were obtained and analysed by the techniques of micro-indentation, Atomic Force Microscopy (AFM) and X-Ray Diffraction (XRD). Conclusion: It was determined that the increase in the temperature of the substrate during the deposition of TiN films improves the mechanical properties of the surface of the steel of type AISI H13, where the highest hardness was present in the coating deposited at a temperature of , which has a preferential orientation in the plane determined by the XRD patterns. Keyword: Coatings, Metal substrates, Substrate temperature Resumen Objetivo: En el presente trabajo de investigacion se estudia el comportamiento de la temperatura del sustrato, fabricado en acero de tipo AISI H13, en el rango de y , durante la deposicion superficial de peliculas delgadas de nitruro de titanio (TiN) por la tecnica de arco catodico en vacio. Resultados: Las propiedades fisicas de las peliculas de TiN fueron obtenidas y analizadas mediante las tecnicas la micro-indentacion, microscopia de fuerza atomica (AFM) y la difraccion de rayos x (DRX). Conclusion: Se determino que el incremento en la temperatura del sustrato durante la deposicion de las peliculas de TiN, mejora las propiedades mecanicas de la superficie del acero de tipo AISI H13, donde la mayor dureza se presento en el recubrimiento depositado a una temperatura de , el cual tiene una orientacion preferencial en el plano determinada por los patrones de DRX. Palabra Clave: Revestimientos, Sustratos metalicos, Temperatura del sustrato Resumo Objetivo: No presente pesquisa e estudado o comportamento da temperatura do substrato, feito de aco de tipo AISI H13, no intervalo de e , durante a deposicao superficie das peliculas finas de nitreto de titânio (TiN) por meio da tecnica de arco catico em vacuo. Resultados: As propriedades fisicas dos filmes de TiN foram obtidos e analisados pelas tecnicas de micro-indentacao, microscopia de forca atomica (AFM) e difraccao de raios-X (DRX). Conclusao: determinou-se que o aumento de temperatura do substrato durante a deposicao do filme de TiN, melhora as propriedades mecânicas da superficie do aco de tipo AISI H13, onde a maior dureza foi apresentada no revestimento depositado a uma temperatura de , que tem uma orientacao preferida no plano determinados pelos padroes de DRX. Palavras-chave: Revestimentos, Substratos metalicos, Temperatura do sustrato