Verfahren zur Bestimmung der Kohlenstoffkonzentration einer Siliciumprobe, Verfahren zur Herstellung eines Siliciumeinkristallingots, Siliciumeinkristallingot sowie Siliciumwafer

Bereitgestellt wird ein Verfahren zur Bestimmung der Kohlenstoffkonzentration einer Siliciumprobe, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Einfuhren von Wasserstoffatomen in eine zu bestimmende Siliciumprobe; Unterwerfen der zu bestimmenden Siliciumprobe, in die Wasserstoffatome eingefuhrt worden sind, einer Evaluierung durch ein Evaluierungsverfahren des Evaluierens eines Einfangniveaus in einer Siliciumbandlucke ohne Elektronenstrahlbestrahlungsbehandlung; sowie Bestimmen der Kohlenstoffkonzentration der zu vermessenden Siliciumprobe auf Basis des Evaluierungsergebnisses wenigstens eines Einfangniveaus, ausgewahlt aus der Gruppe, bestehend aus Ec-0,10 eV, Ec-0,13 eV und Ec-0,15 eV unter Evaluierungsergebnissen, die durch die Evaluierung erhalten werden, wobei die bestimmte Kohlenstoffkonzentration geringer ist als 1,0E+16 Atome/cm 3 .