Procédé de dépôt de nitrure de bore et de matériaux dérivés de nitrure de bore

L’invention concerne un procede et un appareil pour former de materiaux espaceurs adjacents a des structures de substrat. Dans un mode de realisation, un procede est propose pour traiter un substrat comprenant le placement d’un substrat ayant une structure de substrat adjacente a une surface de substrat dans une chambre de depot, le depot d’une couche d’espaceur sur la structure de substrat et une surface de substrat, et la gravure de la couche d’espaceur pour exposer la structure de substrat et une partie de la surface de substrat, la couche d’espaceur etant disposee adjacente a la structure de substrat. La couche d’espaceur peut comprendre un materiau nitrure de bore. La couche d’espaceur peut comprendre une couche d’espaceur de base et une couche de doublure, et la couche d’espaceur peut etre gravee dans un procede de gravure a deux etapes.