Cible de pulvérisation et pellicule mince d’oxyde semi-conducteur formée à partir de cette cible

L’invention concerne un corps fritte contenant un compose lamellaire hexagonal exprime comme In 2 O 3 (ZnO) m (ou m represente un entier compris entre 2 et 20) et un compose exprime comme InLnO 3 (ou Ln represente un lanthanide trivalent a l’exclusion de Pr et Pm) a des rapports atomiques de 0,2 < In/(In + Zn) < 0,97, 0,03 < Zn/(In + Zn) < 0,8 et 0,2 < Ln/(In + Zn + Ln) < 0,5.