半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット

(57)【要約】 ［課題］ＦＯＵＰといわれる密閉容器からウエハーを出 し入れして半導体製造装置に供給、回収するＥＦＥＭと いわれる装置の周辺作業は人手によるものが大半であっ た。自動化にはＥＦＥＭ周辺にＦＯＵＰのバッファー機 能用棚を持つことと、ＥＦＥＭの一部であるオープナー へのＦＯＵＰの自動供給、回収が必要になる。これを解 決する手段としてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を持つ移載設備が存 在するが、ＦＯＵＰを一個掴む方式であり、動作サイク ルタイムが長く、移載動作範囲も狭いので、搬送機との 取り合いにも制限が多かった。 ［解決手段］昇降機能を持つポスト状のロボット本体に スカラアームを取り付け、アーム先端には２つのグリッ プを持たせた。さらに回転機構とグリップの各々が単独 に昇降する機構を持たせることによって、オープナーや 搬送機に同時にＦＯＵＰの供給と回収ができる機能を持 たせたことを特徴とする。