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Ardis Liang
Ardis Liang
Extreme ultraviolet lithography
Materials science
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Humanities
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1900~2024
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Deep learning based defect detection using large FOV SEM for 28 nm pitch BEOL layer patterned with 0.33NA single exposure EUV
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Sayantan Das
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Ardis Liang
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Sandip Halder
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Defect characterization of 28 nm pitch EUV single patterning structures for iN5 node
2021
Kaushik Sah
Sayantan Das
Andrew Cross
Kay Peng
Kha Tran
Binesh Babu
Ardis Liang
Danilo De Simone
Philippe Leray
Sandip Halder
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Procédés pour générer une puce de référence standard destinée à être utilisée dans une puce pour une inspection par puce de référence standard, et procédés d'inspection d'une plaquette
2008
Hubert Altendorfer
Kris Bhaskar
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