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C Ziener
C Ziener
Electric discharge in gases
Extreme ultraviolet
Xenon
Optoelectronics
Pulsed power
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T2 Spin-Echo-Relaxation von magnetisch markierten Zellen und Eisenoxid-Agglomerationen
2014
Rofo-fortschritte Auf Dem Gebiet Der Rontgenstrahlen Und Der Bildgebenden Verfahren
F. Kurz
Thomas Kampf
Sabine Heiland
Martin Bendszus
Hp Schlemmer
C Ziener
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Variation der CPMG Inter-Echo-Zeit und Quantifizierung von Kapillardurchmesser in Muskelgewebe
2014
Rofo-fortschritte Auf Dem Gebiet Der Rontgenstrahlen Und Der Bildgebenden Verfahren
F. Kurz
Thomas Kampf
Sabine Heiland
Martin Bendszus
Hp Schlemmer
C Ziener
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EUV sources for EUV lithography in alpha-, beta-, and high volume chip manufacturing: an update on GDPP and LPP technology
2005
Uwe Stamm
Jürgen Dr. Kleinschmidt
Kai Dr. Gäbel
Guido Hergenhan
C Ziener
Guido Schriever
Imtiaz Ahmad
Denis Bolshukhin
Jesko Brudermann
R. de Bruijn
T. D. Chin
Alexander Dr. Geier
Sven Götze
Alexander Keller
Vladimir Korobotchko
Björn Mader
Jens Ringling
T. Brauner
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Citations (15)
Development status of gas discharge produced plasma Z-pinch EUV sources for use in beta-tools and high volume chip manufacturing tools
2005
Uwe Stamm
Jürgen Dr. Kleinschmidt
Kai Dr. Gäbel
Guido Hergenhan
C Ziener
Imtiaz Ahmad
Denis Bolshukhin
Vladimir Korobotchko
Alexander Keller
Alexander Dr. Geier
Jens Ringling
Chinh Duc Tran
Björn Mader
R. de Bruijn
Sven Götze
Jesko Brudermann
Guido Schriever
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