Mikro-Nano-Integration in der Sensorik - Nanostrukturen als neue Option

Fur die Sensorik eroffnet der Einsatz von nanostrukturierten Materialien, die mit begrenztem Aufwand umsetzbar sind und fur die keine kostspieligen und sehr aufwendigen Technologien benotigt werden, neue Perspektiven. Die Mikro-Nano-Integration, also die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme, ist zumindest ein hochst interessantes Thema fur zukunftige Sensoren. Vorgestellt werden hier beispielhaft nanostrukturiertes Siliciumgras, das durch Selbstmaskierung in Trockenatzprozessen erzeugt werden kann, und nanokristallines Aluminiumnitrid, das mittels reaktiver Sputtertechnik erzeugt wird. Wahrend Siliciumgras insbesondere fur extrem grose Oberflachen sorgt und auch als infrarot-optisches Interface von Bedeutung ist, sind Membranen aus nanokristallinem Aluminiumnitrid, das auch piezoelektrische Eigenschaften aufweist, extrem stabil und weisen eine sehr hohe thermische Leitfahigkeit auf.